特許
J-GLOBAL ID：200903052152920887
感光性組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-242097
公開番号（公開出願番号）：特開平5-080512
出願日： 1991年09月20日
公開日（公表日）： 1993年04月02日
要約：
【要約】【構成】 下記の化合物の共重合体からなる光架橋性高分子化合物を含有するネガ型感光性組成物。【化1】【効果】 耐摩耗性に優れている。
請求項（抜粋）：
光架橋性高分子化合物を含有する感光性組成物において、該光架橋性高分子化合物が下記一般式(I) で表わされる構成単位及び下記一般式(IV) で表わされる構成単位を有する共重合体であることを特徴とする感光性組成物。 -[ CH2 -C(R1)(-R2-A)] - ------(I){式中、R1 は水素原子またはメチル基を示し、R2 は単結合またはC,H,N,O,Sより選ばれた2種以上の原子よりなる2価の連結基を示し、Aは下記一般式(II) または(III)で示される官能基を示す。【化1】(式中、R3 、R4 はそれぞれ水素原子、ハロゲン原子またはC12以下のアルキル基を示し、R3 とR4 が一緒になって5または6員環を形成していても良い。R5 、R6 はそれぞれ水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基またはC12以下のアルキル基を示し、R7 は置換基を有していても良いC12以下の芳香族基、ヘテロ芳香族基を示す。)} -[ CH2 -C(R8)(-X -R9-Y)] - ------(IV){式中、R8 は水素原子またはメチル基を示し、Xは単結合、エステル結合またはアミド結合を示し、R9 は単結合またはC,H,N,O,Sより選ばれた2種以上の原子よりなる2価の連結基を示し、Yは下記一般式(V) で示される構成単位を含み、重量平均分子量が500以上の重合体成分を示す。 -[ CH2 -C(R10)( -R11 -Z)] - ------(V)(式中、R10は水素原子またはメチル基を示し、R11は単結合またはC,H,N,O,Sより選ばれた2種以上の原子よりなる2価の連結基を示し、Zは-COOH、-O-PO(OH)(OR12)、-PO(OH)(OR13)、-SO3H、-CONHSO2R14のいずれかを示す。尚、R12、R13はそれぞれ水素原子または置換基を有していてもよいC1 〜C15の炭化水素基を示し、R14は置換基を有していてもよいC1 〜C15の炭化水素基を示す。)}
IPC (5件)：
G03F 7/038 501
, G03F 7/00 503
, G03F 7/027
, G03F 7/028
, H01L 21/027
