特許
J-GLOBAL ID：200903052157561346
スローベントバルブ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高 雄次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-100428
公開番号（公開出願番号）：特開平6-294472
出願日： 1993年04月02日
公開日（公表日）： 1994年10月21日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 弁体を二段階に開き、最初はごく僅かな弁開によりガスをスローリークさせ、次に弁全開によりガス流通を行い、真空チャンバー内へのガスの導入や真空チャンバー内のガスのパージを容易にする。【構成】 メタルダイヤフラム15を押す弁棒21を作動するアクチュエータを、ピストン25とスプリング26を有する弁全開用シリンダ23と、弁全開用シリンダに連設されたスローリーク用シリンダ24とで構成する。スローリーク用シリンダは、止めリング27に抜け止めされたリーク用ピストン28と、キャップ状のカム受けベース29と、上下に揺動可能に配設されたカム30と、リーク用ピストンを付勢するスプリング31と、アジャスター33で進退する揺動支点ボール32とを内蔵すると共に、カムの先端上面を押える調整摘み34を備える。
請求項（抜粋）：
ノーマルクローズタイプのメタルダイヤフラム弁に於いて、メタルダイヤフラムを押す弁棒を作動するアクチュエータが、弁全開用シリンダーとスローリーク用シリンダーとより成り、弁全開用シリンダーは弁棒の中間外周に一体に設けられたピストンと、このピストンをメタルダイヤフラム側に付勢するスプリングとを内蔵しており、スローリーク用シリンダーは弁全開用シリンダーに連設されていて、弁棒の上端部外周に摺動可能に設けられ弁棒上端に固定された止めリングに抜け止めされたリーク用ピストンと、このリーク用ピストン上に設けられたキャップ状のカム受けベースと、このカム受けベース上で上下に揺動可能に配されたカムと、このカムの先端に係合して前記リーク用ピストンをメタルダイヤフラム側に付勢するスプリングと、前記カムの揺動支点ボールとを内蔵し、且つ揺動支点ボールを進退するアジャスターと、カムの先端上面を押える調整摘みを備えてなることを特徴とするスローベントバルブ。
IPC (2件)：
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