特許
J-GLOBAL ID：200903052164664860

表面欠陥検査装置

発明者：
大山 洋一郎

大山 洋一郎 について


出願人/特許権者：
日本エレクトロセンサリデバイス株式会社

日本エレクトロセンサリデバイス株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-356007
公開番号（公開出願番号）：特開2006-138830
出願日： 2004年11月10日
公開日（公表日）： 2006年06月01日
要約：
【課題】表面に緩やかな凹凸があった場合や欠陥とは言えない浅い傷などがあった場合重欠陥であるクラック状欠陥と区別できない問題を解決し、傷や付着物の性状を判定するとともに、さらに欠陥の程度を評価する表面欠陥検査装置を提供する。【解決手段】移動する検査対象物の鏡面状表面を拡散光によって照明する拡散光照明手段と検査対象物の鏡面状表面の画像を撮像するテレセントリック光学系とリニアセンサアレイで構成された撮像手段と設け拡散光照明を検査対象物への入射角度が広角である第1の拡散光照明手段と照射方向が狭い第2の拡散光照明手段とから構成しさらに第1の拡散光照明手段および第2の拡散光照明手段を用いて得られる撮像データを比較して欠陥を評価する欠陥評価手段を設けて構成した。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
移動する検査対象物の表面を拡散光によって照明する拡散光照明手段と、検査対象物の表面の画像を撮像するテレセントリック光学系とリニアセンサアレイで構成された撮像手段とを備える表面欠陥検査装置であって、 検査対象物への入射角度が広角である第1の拡散光照明手段と、 照射方向が所定範囲に限られる第2の拡散光照明手段と、 第1の拡散光照明手段を用いて得られる撮像デーおよび第2の拡散光照明手段を用いて得られる撮像データを比較して欠陥を評価する欠陥評価手段とを 備えることを特徴とする表面欠陥検査装置。
IPC (2件)：
G01N 21/956 ,  G01B 11/30
FI (2件)：
G01N21/956 A ,  G01B11/30 A
Fターム (36件)：
2F065AA49 ,  2F065BB03 ,  2F065BB25 ,  2F065CC19 ,  2F065DD04 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF41 ,  2F065FF65 ,  2F065GG03 ,  2F065GG13 ,  2F065HH02 ,  2F065HH12 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ07 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL01 ,  2F065LL59 ,  2F065MM04 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ06 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ41 ,  2F065UU01 ,  2G051AA51 ,  2G051AB05 ,  2G051AB08 ,  2G051BA01 ,  2G051BB17 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051CC09 ,  2G051EB01
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (6件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM