特許

J-GLOBAL ID：200903052167988615

散乱計測を用いてオーバレイ誤差を検出する装置および方法

発明者： ミーハー・ウォルター・ディ. ,  レビー・アディ ,  ゴロヴァネブスキイ・ボリス ,  フリードマン・マイケル ,  スミス・イアン ,  アデル・マイケル ,  ファブリカント・アナトリー ,  ベヴィス・クリストファー・エフ. ,  フィールデン・ジョン ,  ベアケット・ノア ,  グロス・ケン ,  ザリッキ・ピオトル ,  ワック・ダン ,  デセッコ・パオラ ,  ジュラ・サディアス・ジー.
出願人/特許権者： ケーエルエー-テンカー テクノロジィース コーポレイション
代理人 (1件)： 特許業務法人明成国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-508481
公開番号（公開出願番号）：特表2006-509219
出願日： 2003年12月05日
公開日（公表日）： 2006年03月16日
要約：

【課題】 試料の2つのレイヤ間のオーバレイ誤差を決定するための技術、装置、およびターゲットを提供する。【解決手段】 ある実施形態において、試料の第1レイヤ内の複数の第1構造群、および前記試料の第2レイヤ内の複数の第2構造群の間のオーバレイを決定する方法が開示される。前記第1および第2構造群の一部を含むターゲットA、B、CおよびDが提供される。前記ターゲットAは、その第1および第2構造部分の間にオフセットXaを有するよう設計され、前記ターゲットBは、その第1および第2構造部分の間にオフセットXbを有するよう設計され、前記ターゲットCは、その第1および第2構造部分の間にオフセットXcを有するよう設計され、前記ターゲットDは、その第1および第2構造部分の間にオフセットXdを有するよう設計される。前記オフセットXa、Xb、XcおよびXdのそれぞれは好ましくはゼロとは異なる。XaはXbとは反対の符号で異なり、XcはXdとは反対の符号で異なる。ターゲットA、B、CおよびDを電磁放射で照射されることによって、ターゲットA、B、CおよびDからそれぞれスペクトルSA、SB、SC、およびSDを得る。前記得られたスペクトルSA、SB、SC、およびSDに基づいて線形近似を用いて前記第1および第2構造群の間の任意のオーバレイ誤差が決定される。

請求項（抜粋）：

試料の第1レイヤ内の複数の第1構造群、および前記試料の第2レイヤ内の複数の第2構造群の間のオーバレイを決定する方法であって、前記方法は、 前記第1および第2構造群の一部を含むターゲットA、B、CおよびDを提供することであって、 前記ターゲットAは、その第1および第2構造部分の間にオフセットXaを有するよう設計され、 前記ターゲットBは、その第1および第2構造部分の間にオフセットXbを有するよう設計され、 前記ターゲットCは、その第1および第2構造部分の間にオフセットXcを有するよう設計され、 前記ターゲットDは、その第1および第2構造部分の間にオフセットXdを有するよう設計され、 前記オフセットXa、Xb、XcおよびXdのそれぞれはゼロとは異なり、XaはXbとは反対の符号で異なり、XcはXdとは反対の符号で異なり、 ターゲットA、B、CおよびDを電磁放射で照射することによって、ターゲットA、B、CおよびDからそれぞれスペクトルSA、SB、SC、およびSDを得ること、および 前記得られたスペクトルSA、SB、SC、およびSDに基づいて線形近似を用いて前記第1および第2構造群の間の任意のオーバレイ誤差を決定すること を含む方法。

IPC (3件)：

G01N 21/27 ,  G01N 21/21 ,  G01N 21/47

FI (3件)：

G01N21/27 B ,  G01N21/21 Z ,  G01N21/47 A

Fターム (16件)：

2G059AA10 ,  2G059BB16 ,  2G059DD13 ,  2G059EE02 ,  2G059EE05 ,  2G059EE12 ,  2G059GG10 ,  2G059JJ03 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ22 ,  2G059JJ30 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01 ,  2G059MM05 ,  2G059MM13