特許

J-GLOBAL ID：200903052180889901

異物除去方法及び異物除去装置

発明者： 岡田 政志
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-005116
公開番号（公開出願番号）：特開2000-208463
出願日： 1999年01月12日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】被洗浄物を破壊しない程度のレーザ光でも洗浄効果の高い異物除去方法及び異物除去装置を提供する。【解決手段】異物の付着した被処理材に対してレーザー光源から出射したレーザー光を照射し、異物を除去する異物除去方法において、前記被処理材に振動を加えることを特徴とする異物除去方法及び装置。一実施例として、パルスレーザー1からのパルスレーザー光2はレンズ3で集光され、基板4に照射される。基板4は基板ホルダー5に設置されている。基板4にはアクチュエータが備えられており、アクチュエータ駆動電源7により駆動される。振動方向は自由に選択できるように構成する(不図示)。基板ホルダー5は、可動ステージ8上(X、Y、Zの3軸方向に移動可能)に設けられている。

請求項（抜粋）：

異物の付着した被処理材に対してレーザー光源から出射したレーザー光を照射し、異物を除去する異物除去方法において、前記被処理材に振動を加えることを特徴とする異物除去方法。

IPC (3件)：

H01L 21/304 645 ,  B08B 3/08 ,  B08B 7/04

FI (3件)：

H01L 21/304 645 D ,  B08B 3/08 A ,  B08B 7/04 Z

Fターム (16件)：

3B116AA02 ,  3B116AA03 ,  3B116AB42 ,  3B116BB02 ,  3B116BC01 ,  3B116BC05 ,  3B201AA03 ,  3B201AA04 ,  3B201AB42 ,  3B201BB02 ,  3B201BB94 ,  3B201BB96 ,  3B201BC01 ,  3B201BC05 ,  3B201CB01 ,  3B201CB21

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 固体表面の清浄化方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-114201   出願人：株式会社荏原総合研究所
• クリーニング装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-036827   出願人：フォイト・ズルツァー・パピーアマシーネン・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング