固体撮像素子用カラーフィルタ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-216406
公開番号（公開出願番号）：特開2004-063552
出願日： 2002年07月25日
公開日（公表日）： 2004年02月26日
要約：

【課題】5μm以下の画素サイズであっても、第2色目以降の色素画素の上部の中央部におちこみがなく、平面形状は、第1色目の色素画素の平面形状に比べ差がなく、第2色目以降の同一色内の色素画素間でのバラツキが大きくない、すなわち、色間、及び同一色内の色素画素間で、感度のバラツキを生ぜず、従って、感度ムラやノイズが発生することのない固体撮像素子用カラーフィルタを提供すること。【解決手段】固体撮像素子用カラーフィルタにおいて、カラーフィルタの第1色目に配設された色素画素の膜厚に対し、色素画素の辺に隣接して配置された第2色目以降の色素画素の膜厚が厚いこと。その膜厚との膜厚差が0.03μm〜0.5μmであること。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

マトリックス状に複数の受光素子が形成されたデバイス基板上の、該受光素子に対応した部位に複数色の色素画素にて形成された固体撮像素子用カラーフィルタにおいて、該カラーフィルタの第1色目に配設された色素画素の膜厚に対し、該色素画素の辺に隣接して配置された第2色目以降の色素画素の膜厚が厚いことを特徴とする固体撮像素子用カラーフィルタ。

IPC (3件)：

H01L27/14 , G02B5/20 , H04N9/07

FI (3件)：

H01L27/14 D , G02B5/20 101 , H04N9/07 D

Fターム (20件)：

2H048BA02 , 2H048BA45 , 2H048BB02 , 2H048BB07 , 2H048BB47 , 4M118AA05 , 4M118AB01 , 4M118BA10 , 4M118BA14 , 4M118FA06 , 4M118GC08 , 4M118GC14 , 4M118GD04 , 4M118GD07 , 5C065BB06 , 5C065BB22 , 5C065BB30 , 5C065CC01 , 5C065DD01 , 5C065EE06

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