特許

J-GLOBAL ID：200903052201536850

有機高分子薄膜の製造装置および有機高分子薄膜の作製方法

発明者： 松 岡 修 ,  山 本 貞 明 ,  小 野 昇 子 ,  宮 前 孝 行 ,  野 副 尚 一 ,  塚 越 清 美
出願人/特許権者： 三井化学株式会社 ,  独立行政法人産業技術総合研究所
代理人 (1件)： 鈴木 俊一郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-077057
公開番号（公開出願番号）：特開2002-275619
出願日： 2001年03月16日
公開日（公表日）： 2002年09月25日
要約：

【要約】【課題】 基体表面上における表面滞留時間あるいは反応エネルギーが大きく異なる複数の原料モノマーを用いた場合においても、有機高分子薄膜の作製が可能で、かつ膜組成や膜構造の精密制御を可能にする【解決手段】 真空容器内に少なくとも有機高分子薄膜を蒸着させる被蒸着基体および複数の蒸着源を収めた蒸着重合装置の複数の蒸着源が、それぞれ少なくとも、それぞれ独立してまたは連動して任意の時間間隔で開閉可能であるパルスバルブ、原料モノマーを充填する原料タンク、および蒸着源内の温度調節をするヒーターを有することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

蒸着重合装置に用いる蒸着源であって、任意の時間間隔で開閉可能なパルスバルブを備えていることを特徴とする蒸着源。

IPC (3件)：

C23C 14/12 ,  C08G 85/00 ,  C08G 73/14

FI (3件)：

C23C 14/12 ,  C08G 85/00 ,  C08G 73/14

Fターム (46件)：

4J031CA06 ,  4J031CA12 ,  4J031CA13 ,  4J031CA14 ,  4J031CA16 ,  4J031CA49 ,  4J031CE06 ,  4J031CF07 ,  4J031CG02 ,  4J031CG26 ,  4J031CG39 ,  4J043PA04 ,  4J043QB31 ,  4J043QB33 ,  4J043RA06 ,  4J043RA35 ,  4J043SA06 ,  4J043SB01 ,  4J043TA12 ,  4J043TA14 ,  4J043TA22 ,  4J043TA26 ,  4J043TB03 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA771 ,  4J043UB011 ,  4J043UB121 ,  4J043UB152 ,  4J043VA021 ,  4J043VA022 ,  4J043VA041 ,  4J043VA062 ,  4J043XA02 ,  4J043XA06 ,  4J043XB27 ,  4J043XB39 ,  4J043YA06 ,  4J043ZB11 ,  4K029BA62 ,  4K029CA11 ,  4K029DA08 ,  4K029DB14 ,  4K029EA00

引用特許：

審査官引用 (2件)

• パルス状原料導入セル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-322364   出願人：浅香修治, 日本真空技術株式会社
• 特開平4-178434