特許

J-GLOBAL ID：200903052210389070

電気光学装置の製造方法及び電気光学装置の製造装置

発明者： 大構 哲也
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 上柳 雅誉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-080679
公開番号（公開出願番号）：特開2001-265009
出願日： 2000年03月22日
公開日（公表日）： 2001年09月28日
要約：

【要約】【課題】 液晶装置装置の製造過程で使用される、パドル現像における現像ムラを無くす方法及びそのたに最適な装置を提供する。【解決手段】 長方形の基板のパドル現像工程において、現像液流出管の移動方向を、長方形の基板の短辺に沿った方向にして、基板表面を走査する時間差を極力少なくする。このための装置としては、長方形の基板を長手方向に沿って搬送する搬送系と、基板を水平に保持して回転可能な基板支持部と、長方形の基板の短辺に向かう方向に移動可能な現像液流出管とから構成する。また、パドル現像と同時に洗浄処理もできるように構成する。

請求項（抜粋）：

所定のパターンに露光されたレジストが形成された長方形の基板の前記レジストを現像液により現像する電気光学装置の製造方法であって、現像液流出管を前記基板表面と平行にかつ前記基板の短辺に沿った方向に移動させながら前記レジストが形成された前記基板上に前記現像液を供給し、前記基板上に所定の時間、前記現像液を保持して現像処理する工程を有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。

IPC (5件)：

G03F 7/30 501 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1365 ,  G09F 9/00 338 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G03F 7/30 501 ,  G02F 1/13 101 ,  G09F 9/00 338 ,  G02F 1/136 505 ,  H01L 21/30 569 D

Fターム (44件)：

2H088FA10 ,  2H088FA16 ,  2H088FA17 ,  2H088FA18 ,  2H088FA21 ,  2H088FA24 ,  2H088FA28 ,  2H088FA30 ,  2H088HA02 ,  2H088HA08 ,  2H088MA16 ,  2H088MA18 ,  2H092JA03 ,  2H092JB12 ,  2H092KA16 ,  2H092KA18 ,  2H092MA05 ,  2H092MA14 ,  2H092MA15 ,  2H092MA16 ,  2H092MA18 ,  2H092MA19 ,  2H092MA20 ,  2H092MA24 ,  2H092MA35 ,  2H092MA37 ,  2H092MA41 ,  2H092NA25 ,  2H092NA27 ,  2H092NA29 ,  2H096AA27 ,  2H096AA28 ,  2H096GA17 ,  2H096GA23 ,  2H096GA24 ,  2H096GA26 ,  5F046LA03 ,  5F046LA04 ,  5F046LA14 ,  5G435AA00 ,  5G435AA17 ,  5G435BB12 ,  5G435KK05 ,  5G435KK09