特許
J-GLOBAL ID:200903052210771242
磁気記録媒体およびその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
谷 義一
, 阿部 和夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-081333
公開番号(公開出願番号):特開2004-288327
出願日: 2003年03月24日
公開日(公表日): 2004年10月14日
要約:
【課題】スペーシングロスを大きくすることなく、磁気記録媒体表面の腐食性ガス等の耐食性を向上させる磁気記録媒体の製造方法およびその製造方法により製造された磁気記録媒体。【解決手段】非磁性基体上に少なくとも磁性層、カーボン保護層、潤滑層を有する磁気記録媒体の製造方法であって、前記カーボン保護層成膜後に、酸素を15体積%から30体積%含む希ガスと酸素の混合ガス雰囲気下でプラズマ処理することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法、およびその製造方法により製造される、カーボン保護層の表面の酸素濃度が11原子%以上、14原子%以下であり、前記カーボン保護層の水との接触角が4度以下である磁気記録媒体。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
非磁性基体上に少なくとも磁性層、カーボン保護層、潤滑層を有する磁気記録媒体の製造方法であって、前記カーボン保護層の成膜後に、酸素を15体積%から30体積%含む希ガスと酸素の混合ガス雰囲気下で、カーボン保護層をプラズマ処理することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
IPC (4件):
G11B5/84
, G11B5/64
, G11B5/72
, G11B5/725
FI (5件):
G11B5/84 B
, G11B5/84 Z
, G11B5/64
, G11B5/72
, G11B5/725
Fターム (7件):
5D006AA02
, 5D006AA04
, 5D006AA05
, 5D112AA07
, 5D112BC05
, 5D112GA17
, 5D112GA22
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