光ディスク用スタンパの製造装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：池浦敏明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-114008
公開番号（公開出願番号）：特開平6-302019
出願日： 1993年04月16日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：

【要約】【目的】光ディスク用スタンパの製造時に、電鋳したスタンパをガラス基板から剥離する際スタンパの表面が汚れたり、表面が酸化するなどの不具合を防ぐこと。【構成】ガラス基板3上のスタンパ(電鋳層)3を、剥離装置で回転させながら剥離用刃物8で剥離する際に、刃物8の近傍に1個以上のノズル11を配して、剥離時の塵埃を排除する。好ましくは、剥離装置の剥離に必要な部分を密閉空間保持装置12に入れ、真空脱気中または窒素気流中で剥離を行い、剥離時の塵埃を排除する。また、剥離時にスタンパ2を押える場所をなるべく外周部とし、さらにスタンパ2の回転速度を制御する。また、スタンパ押え6aの荷重を開放してスタンパ2を取り出すまでの間、前記密閉空間保持装置12内を真空または不活性ガス雰囲気に維持する。

請求項（抜粋）：

所定のパターンの電鋳層からなるスタンパが一体化されたガラス基板を、剥離装置の回転台に付帯した固定具に嵌め込み、スタンパ押えで荷重を与えて固定してから、回転台を回転させながらガラス基板とスタンパの間に剥離用刃物を挿入して両者を剥離させた後に、スタンパ押えの加重を開放してスタンパを取り出す構成の光ディスク用スタンパの製造装置において、剥離用刃物の近傍に、少なくとも1つのノズルにより剥離時の塵埃を真空吸引する除去手段を設けたことを特徴とする光ディスク用スタンパの製造装置。

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