特許

J-GLOBAL ID：200903052217678213

インクジェットヘッド及びその製造方法

発明者： 町田 治 ,  山田 健二 ,  山田 剛裕 ,  川澄 勝則 ,  木田 仁司
出願人/特許権者： 日立工機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-050077
公開番号（公開出願番号）：特開2000-246891
出願日： 1999年02月26日
公開日（公表日）： 2000年09月12日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、金属で構成される振動板上の全体に圧電素子を薄膜形成法を用いて低温で一様に合成し、ノズル間のインク速度及び吐出インク量の差を無くし、印字品質の優れた高密度のインクジェットヘッドを提供することを課題とする。【解決手段】 隔壁によって仕切られた複数の圧力室の一面を封止する振動板をニッケルなどの金属で構成し、これらの振動板上に水熱合成法などの低温薄膜合成法を用いて圧電素子膜を全体に一様に形成することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

隔壁によって仕切られた複数の圧力室と、該複数の圧力室に夫々対応して設けられた複数の吐出ノズルを有し、前記圧力室の一面に装着されたノズル板と、前記圧力室を封止するべく前記ノズル板と対向する面に設けられた振動板と、該振動板上の全面に一様に形成された圧電素子膜と、該圧電素子膜上で前記圧力室に夫々対応するように配置された複数の上部電極とよりなるインクジェットヘッド。

IPC (3件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

Fターム (14件)：

2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG44 ,  2C057AG55 ,  2C057AP02 ,  2C057AP13 ,  2C057AP14 ,  2C057AP24 ,  2C057AP38 ,  2C057AP51 ,  2C057AP52 ,  2C057AP55 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14