特許

J-GLOBAL ID：200903052225610059

レーザ電源装置

発明者： 中岡 健吉 ,  森尾 浩一
出願人/特許権者： 株式会社アマダエンジニアリングセンター ,  株式会社アマダ
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-233318
公開番号（公開出願番号）：特開平10-079541
出願日： 1996年09月03日
公開日（公表日）： 1998年03月24日
要約：

【要約】【課題】 昇圧トランスの効率改善およびインダクタの小型化を図ることのできるレーザ電源装置を提供する。【解決手段】 レーザ媒質ガス中の電極7間に放電させてレーザ媒質ガスを励起させレーザ光を出力させるレーザ電源装置1であって、電力供給用の高周波電源3と、電力を昇圧する昇圧トランス5と、レーザ媒質ガスを励起せしめる一対の電極7と、この電極7に付随して設けられ均一な放電を起こさせる誘電体9とを有し、一対の電極7間に生じるキャパシタンスをキャンセルすべく前記電極7の直前に設けられたインダクタL1を備えている。従って、高周波電源3により供給される電力を昇圧トランス5が昇圧して電極7に印加することにより誘電体9から放電してレーザ媒質ガスを励起し、レーザ光を出力する。この際に、電極7間に形成されるキャパシタを、電極7の直前に設けられているインダクタL1により打ち消す。

請求項（抜粋）：

レーザ媒質ガス中の電極間に放電させることにより前記レーザ媒質ガスを励起せしめてレーザ光を出力させるためのレーザ電源装置であって、電力を供給する高周波電源と、この高周波電源を昇圧する昇圧トランスと、前記レーザ媒質ガスを励起せしめる一対の電極と、この電極に付随して設けられ均一な放電を起こさせる誘電体とを有し、前記一対の電極間に生じるキャパシタンスをキャンセルすべく前記電極の直前に設けられたインダクタを備えてなることを特徴とするレーザ電源装置。