特許

J-GLOBAL ID：200903052230521897

バレル型サセプター

発明者： 外谷 栄一 ,  我妻 新哉 ,  市島 雅彦 ,  永田 智浩
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社
代理人 (1件)： 田辺 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-174372
公開番号（公開出願番号）：特開平10-004063
出願日： 1996年06月14日
公開日（公表日）： 1998年01月06日
要約：

【要約】【課題】 スリップ欠陥を低減し、より高品質のウエハを製造できるバレル型サセプターを提供する。【解決手段】 半導体エピタキシャル成長工程で用いるバレル型サセプターにおいて、サセプターのトップ部とボトム部をガラス状カーボンで構成したことを特徴とするバレル型サセプター。

請求項（抜粋）：

半導体エピタキシャル成長工程で用いるバレル型サセプターにおいて、サセプターのトップ部とボトム部をガラス状カーボンで構成したことを特徴とするバレル型サセプター。

IPC (4件)：

H01L 21/205 ,  C01B 31/02 101 ,  C04B 35/52 ,  C30B 25/08

FI (4件)：

H01L 21/205 ,  C01B 31/02 101 A ,  C30B 25/08 ,  C04B 35/52 A