特許

J-GLOBAL ID：200903052233958803

蒸着ボート

発明者： 山本 礼 ,  松浦 弘幸 ,  山口 正利
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 中村 稔 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-288151
公開番号（公開出願番号）：特開2003-096558
出願日： 2001年09月21日
公開日（公表日）： 2003年04月03日
要約：

【要約】【課題】 蒸発物が収容部の傾斜壁を越えて外側に到達し、さらに電極にまで到達するという現象を防止し、従来と同じ電力で蒸発物を十分に蒸発させることができ、蒸着ボートの取り外しが容易であり、電極のメンテナンス性が向上した蒸着ボートを提供すること。【解決手段】 蒸着ボートの蒸発物収容部の外側に、蒸発物に対して濡れ性の低い材料で形成された土手を設けたことを特徴とする蒸着ボート。

請求項（抜粋）：

蒸着ボートの蒸発物収容部の外側に、蒸発物に対して濡れ性の低い材料で形成された土手を設けたことを特徴とする蒸着ボート。

Fターム (4件)：

4K029BA22 ,  4K029DB12 ,  4K029DB13 ,  4K029DB18