特許
J-GLOBAL ID：200903052236933950
感光性組成物
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-249815
公開番号（公開出願番号）：特開平5-088372
出願日： 1991年09月27日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：
【要約】【構成】 下記一般式(I)で表わされる光架橋性基を有する光架橋性高分子化合物及び下記一般式(II) で表わされる少なくとも1種類の官能基が粒子表面に化学結合により連結した表面改質シリカ微粒子を含有することを特徴とする感光性組成物。【化1】(式中、T1 、T2 はそれぞれ、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基又はアリール基を示し、T1 、T2 とが一緒になって環を形成していてもよい。)【化2】(式中、RはC、H、N、O、S、Siより選ばれた2種以上の原子よりなる2価の連結基を示し、Yは少なくとも【化3】からなる基を示し、またQ1 、Q2 はそれぞれ、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基又はアリール基を示し、Q1 とQ2 とが一緒になって環を形成していてもよい。)【効果】 本発明の感光性組成物は画像露光時の感度に優れ、短い露光時間でも十分な画像が得られ、さらに得られた画像部の皮膜強度は強く、耐摩耗性の優れたものとなる。
請求項（抜粋）：
下記一般式(I)で表わされる光架橋性基を有する光架橋性高分子化合物及び下記一般式(II) で表わされる少なくとも1種類の官能基が粒子表面に化学結合により連結した表面改質シリカ微粒子を含有することを特徴とする感光性組成物。【化1】(式中、T1 、T2 はそれぞれ、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基又はアリール基を示し、T1 、T2 とが一緒になって環を形成していてもよい。)【化2】(式中、RはC、H、N、O、S、Siより選ばれた2種以上の原子よりなる2価の連結基を示し、Yは少なくとも【化3】からなる基を示し、またQ1 、Q2 はそれぞれ、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基又はアリール基を示し、Q1 とQ2 とが一緒になって環を形成していてもよい。)
IPC (5件)：
G03F 7/075 501
, G03F 7/00 503
, G03F 7/004 501
, G03F 7/038 501
, H01L 21/027
