合焦点型非接触変位計

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高矢諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-353467
公開番号（公開出願番号）：特開平5-164556
出願日： 1991年12月17日
公開日（公表日）： 1993年06月29日
要約：

【要約】【目的】対物レンズ部を移動させないことによって、応答速度を落とすことなく、深溝や穴の表面形状測定を可能とする。又、測定用途により、対物レンズを交換可能とする。【構成】結像光学系のコリメータレンズ(24)と対物レンズ(14)の間にリレーレンズ(52、54)をおき、その一方にサーボをかけることにより、合焦を行う。合焦点が検知されたときのリレーレンズの位置から測定対象物の変位を知る。

請求項（抜粋）：

光源と、該光源から放射される光を測定対象物の表面に照射し、その反射光により該光源の像を結像する結像光学系と、該結像光学系の光路中に挿入されたリレーレンズと、該リレーレンズの位置を変化させる駆動手段と、前記リレーレンズの位置を検出するエンコーダと、結像位置が所定の位置に一致したことを検知する合焦点検知手段を具備し、前記駆動手段を作動させて合焦点検知手段によって合焦点が検知されたときの前記エンコーダの出力を測定対象物の変位信号として出力することを特徴とする合焦点型非接触変位計。

IPC (2件)：

G01C 3/06 , G01B 11/30 102

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平3-048104
特開昭63-052111
特公平3-057607

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