特許
J-GLOBAL ID：200903052256137696
基板検査装置および基板検査方法並びに基板検査装置の検査ロジック生成装置および検査ロジック生成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
世良 和信
, 和久田 純一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-281591
公開番号（公開出願番号）：特開2006-098093
出願日： 2004年09月28日
公開日（公表日）： 2006年04月13日
要約：
【課題】高密度実装基板における半田フィレットの良否判定を高精度に行うことのできる技術を提供する。【解決手段】基板検査装置は、まず第1ロジックに従って、検査画像から青系色の第1画素領域を抽出し、第1画素領域がもつ特徴量が第1判定条件を満足するか判定する。次に、基板検査装置は、第2ロジックに従って、検査画像から赤系色の第2画素領域を抽出し、第2画素領域がもつ特徴量が第2判定条件を満足するか判定する。そして、第1ロジックおよび第2ロジックの判定結果が共に真の場合に検査対象部品を良品と判定する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
投光手段によって、基板上の検査対象部品に異なる入射角で複数の色の光を照射し、
撮像手段によって、その反射光を撮像して検査画像を取得し、
入射角が最も大きい光の色成分を含む画素を抽出するための第1色条件と、前記第1色条件を満足する画素領域がもつ第1特徴量に関して、良品の過検出は排除し且つ不良品の見逃しは許容する値に設定された第1判定条件とを含む第1ロジックを記憶部から読み込み、
前記第1ロジックに従って、前記検査画像の半田部分から前記第1色条件を満足する第1画素領域を抽出して、前記第1画素領域のもつ第1特徴量が前記第1判定条件を満足するか判定し、
入射角が最も小さい光の色成分を含む画素を抽出するための第2色条件と、前記第2色条件を満足する画素領域がもつ第2特徴量に関して、前記第1ロジックで見逃され得る不良品の見逃しを排除する値に設定された第2判定条件とを含む第2ロジックを記憶部から読み込み、
前記第2ロジックに従って、前記検査画像の半田部分から前記第2色条件を満足する第2画素領域を抽出して、前記第2画素領域のもつ第2特徴量が前記第2判定条件を満足するか判定し、
前記第1ロジックおよび第2ロジックの判定結果が共に真の場合に前記検査対象部品を良品と判定する
基板検査装置による基板検査方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N21/956 B
, H05K3/34 512B
2G051AA61
, 2G051AA65
, 2G051AB14
, 2G051BB02
, 2G051CA04
, 2G051CB01
, 2G051EA08
, 2G051EA16
, 2G051EA17
, 2G051EB01
, 2G051EC02
, 2G051ED01
, 5E319AA03
, 5E319BB04
, 5E319BB05
, 5E319CC22
, 5E319CD26
, 5E319CD53
