特許
J-GLOBAL ID：200903052258429074
容器の窓の清浄方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
市村 健夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-258967
公開番号（公開出願番号）：特開平6-081151
出願日： 1992年09月01日
公開日（公表日）： 1994年03月22日
要約：
【要約】【目的】 装置の窓の表面が汚染された場合容易に清浄にし、又は窓の表面の汚染を防止する窓の清浄方法を提供することである。【構成】 窓の表面に物質が付着したときは、付着した物質に高パワー密度光を照射してアブレーションを行い、窓を損傷することなく物質を除去する。又は窓に高パワー密度光を照射して窓を清浄に保持する。
請求項（抜粋）：
容器に設けられた光を透過する窓の表面に付着した物質に高パワー密度光を照射してアブレーションにより、該物質を除去することを特徴とする容器の窓の清浄方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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