特許
J-GLOBAL ID：200903052261537120
シリコン加速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-305814
公開番号（公開出願番号）：特開平5-142248
出願日： 1991年11月21日
公開日（公表日）： 1993年06月08日
要約：
【要約】【目的】耐衝撃の高いシリコン加速度センサを得ること。【構成】シリコンの板のエッチングにより、おもりと固定部と両者を連結する棒状部材を一体に形成したシリコン加速度センサにおいて、おもりの重心を通り加速度検出方向と直行する平面内でおもりの重心を通り互いに直行する二つの軸を考えたとき、二本の棒状部材を二つの軸のうちの一つの軸に平行な方向にこの軸に関して互いに対称に形成し、おもりの重心に関して二本の棒状部材と対称に第二の二本の棒状部材を形成し、第三の二本の棒状部材を二つの軸の内のもう一つの軸と平行方向にこの軸に関して互いに対称に形成し、おもりの重心に関して二本の棒状部材と対称に二本の棒状部材を形成した。
請求項（抜粋）：
シリコンの板のエッチングにより、おもりと固定部と両者を連結する棒状部材を一体に形成したシリコン加速度センサにおいて、おもりの重心を通り加速度検出方向と直行する平面内においておもりの重心を通り互いに直行する二つの軸を考えたとき、二本の棒状部材を前記二つの軸のうちの一つの軸に平行な方向にこの軸に関して互いに対称に形成し、おもりの重心に関して前記二本の棒状部材と対称に第二の二本の棒状部材を形成し、第三の二本の棒状部材を前記二つの軸のうちのもう一つの軸と平行方向にこの軸に関して互いに対称に形成し、おもりの重心に関して前記二本の棒状部材と対称に前記第三の二本の棒状部材を形成したことを特徴とするシリコン加速度センサ。
IPC (2件)：
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