特許

J-GLOBAL ID：200903052266244032

基板表面欠陥検出の方法とその装置

発明者： ▲高▼田 和政 ,  野村 剛 ,  長崎 達夫 ,  三好 隆志
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-164460
公開番号（公開出願番号）：特開2002-357564
出願日： 2001年05月31日
公開日（公表日）： 2002年12月13日
要約：

【要約】【課題】 レーザビームの試料への入射角が小さいため、欠陥の検出精度が十分でないという課題があった。【解決手段】 レーザ発振器7から出射したレーザビームをカセグレンミラー9にて反射させ、楕円ミラー10にて基板3への入射角度をさらに高めてこの基板3表面に入射させ、この基板3からの散乱光を受光して基板3表面の異物や欠陥を検出する。

請求項（抜粋）：

レーザ発振器から出射したレーザビームをカセグレンミラーにて反射させ、楕円ミラーにて基板への入射角度をさらに高めてこの基板表面に入射させる工程と、この基板からの散乱光を受光して基板表面の異物や欠陥を検出する工程とを有したことを特徴とする基板表面欠陥検出の方法。

IPC (3件)：

G01N 21/956 ,  G01B 11/30 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01N 21/956 A ,  G01B 11/30 A ,  H01L 21/66 J

Fターム (28件)：

2F065AA49 ,  2F065BB01 ,  2F065CC17 ,  2F065DD03 ,  2F065FF04 ,  2F065FF42 ,  2F065FF48 ,  2F065GG04 ,  2F065HH05 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL19 ,  2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051BA10 ,  2G051BB03 ,  2G051BB11 ,  2G051CA01 ,  2G051CB05 ,  4M106AA01 ,  4M106BA05 ,  4M106CA38 ,  4M106CA43 ,  4M106DB08 ,  4M106DB13