特許
J-GLOBAL ID:200903052266757463
疵検査用照明装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
矢葺 知之 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-009077
公開番号(公開出願番号):特開2002-214146
出願日: 2001年01月17日
公開日(公表日): 2002年07月31日
要約:
【要約】【課題】 高照度かつ均一に照明することができ、廉価な疵検査用照明装置を提供する。【解決手段】 帯状または板状の被検査材1の表面に線状の照明エリア3を形成する疵検査用照明装置において、光源10と、多数の光ファイバ23が整列し、光源10からの入射光線を線状に揃えて出射する光ファイバユニット22と、光ファイバユニット22の出射側に配置されたフレネルレンズ32とを備えている。
請求項(抜粋):
帯状または板状の被検査材の表面に線状の照明エリアを形成する疵検査用照明装置において、光源と、多数の光ファイバが整列し、光源からの入射光線を線状に揃えて出射する光ファイバユニットと、光ファイバユニットの出射側に配置されたフレネルレンズとを備えたことを特徴とする疵検査用照明装置。
IPC (2件):
FI (2件):
G01N 21/84 E
, G01N 21/01 D
Fターム (15件):
2G051AA32
, 2G051BB11
, 2G051BB17
, 2G051CA03
, 2G051CC09
, 2G051DA06
, 2G059AA05
, 2G059BB10
, 2G059BB15
, 2G059GG10
, 2G059JJ11
, 2G059JJ14
, 2G059JJ17
, 2G059KK04
, 2G059PP10
引用特許:
審査官引用 (14件)
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特開平3-189606
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特開平3-189606
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ファイバ導光照明装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-115589
出願人:株式会社東芝
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顕微鏡用透過照明装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-311857
出願人:オリンパス光学工業株式会社
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欠陥検出装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-055249
出願人:富士電線電器株式会社
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レーザビーム光学装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-167104
出願人:ミノルタ株式会社
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プロジェクタ装置のスクリーン構造
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-027750
出願人:株式会社日立製作所, 株式会社日立画像情報システム
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特開平3-189606
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特開昭63-098606
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特開昭63-098606
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特開平1-126603
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特開平1-126603
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光学検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-283900
出願人:エルビンジツクゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツングオプテイク-エレクトロニク
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微細凹凸パターンを有する素子の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-215008
出願人:旭光学工業株式会社
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