特許

J-GLOBAL ID：200903052270093790

半導体パッケージの自動検査方法

発明者： クリストファー・ジェイ・ルボー
出願人/特許権者： モトローラ・インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 大貫 進介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-159479
公開番号（公開出願番号）：特開平6-021178
出願日： 1991年06月04日
公開日（公表日）： 1994年01月28日
要約：

【要約】【目的】 視覚的手段で半導体装置のリードを検査する方法を提供する。【構成】 半導体リードの検査方法は、半導体パッケージのイメージを得る段階、パッケージの一部であるリードフィンガー(12)のイメージを強調する段階を含む。イメージ強調の第1の実施例においては形態上の展開が行なわれる。また別の実施例においては方向エッジ強調が行なわれる。さらに強調されたリードフィンガー(12)のイメージとリードフィンガー(12)のイメージ上におかれるフレームのイメージ(14)とは論理積演算され、パッケージ(11)上のリードフィンガー(12)の全てのリード数、整合性、位置を表わす数百バイトのデータセットにまで圧縮される。データセットは保存された別のデータセットと比較されて、半導体パッケージの受け入れ可能性を決定する。

請求項（抜粋）：

半導体パッケージ(11)のリードフィンガー(12)を自動的に検査する方法であって:サンプル用パッケージを用意する段階;前記サンプル用パッケージのリードフィンガー(12)のイメージを得る段階;前記リードフィンガーのイメージの周囲にフレームイメージ(14)を位置合わせする段階;前記リードフィンガーのイメージからサンプル用マスクイメージを作成する段階;前記フレームイメージ(14)と前記サンプル用マスクイメージとを論理積演算する段階;検査対象となるリードフィンガー(12)のイメージを得る段階;前記検査対象となるイメージを数学的に強調する段階;前記強調されたイメージを拡大する段階;前記拡大されたイメージに前記マスクイメージを位置合わせする段階;および前記マスクイメージと前記拡大されたイメージとを比較して前記リードフィンガーの受け入れ可能性を決定する段階;を含むことを特徴とする方法。

IPC (2件)：

H01L 21/66 ,  G06F 15/62 400

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭62-156547
  
• 特開昭63-128241
  
• 特開平2-118409
  
• 特開昭60-165750