特許
J-GLOBAL ID：200903052274556736
IC試験装置のデータ表示制御方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-054577
公開番号（公開出願番号）：特開平7-240445
出願日： 1994年02月28日
公開日（公表日）： 1995年09月12日
要約：
【要約】【目的】 ウェハ上の試験する試料の座標を試験作業者が自由に設定するIC試験装置のデータ表示制御方法を提供する。【構成】 IC試験部1と共通メモリ3Aと制御プログラム3Bをもつ制御プロセッサ3と、設定入力手段4Aと表示ソフトウェア4Bをもつデータ処理プロセッサ4を備え、試料を試験するIC試験装置10と、IC試験装置10に接続し、試料との位置合わせを自動的に行うプローバ2を備え、設定入力手段4Aは試験する複数の試料の1つを基準試料として規準座標を入力するとともに、他の試料の基準試料に対する相対座標を入力し、設定入力手段4Aの内容を共通メモリ3Aに書き込み、制御プログラム3Bはプローバ2より基準試料の絶対座標を入力するとともに、共通メモリ3Aから他の試料の相対座標を入力して、各被試験試料の絶対座標を演算し、表示ソフトウェア4Bは、各試料の絶対座標ごとに試験結果を表示する。
請求項（抜粋）：
IC試験部(1) と共通メモリ(3A)と制御プログラム(3B)をもつ制御プロセッサ(3) と、設定入力手段(4A)と表示ソフトウェア(4B)をもつデータ処理プロセッサ(4) を備え、試料を試験するIC試験装置(10)と、IC試験装置(10)に接続し、試料との位置合わせを自動的に行うプローバ(2) を備え、設定入力手段(4A)は試験する複数の試料の1つを基準試料として規準座標を入力するとともに、他の試料の基準試料に対する相対座標を入力し、設定入力手段(4A)の内容を共通メモリ(3A)に書き込み、制御プログラム(3B)はプローバ(2) より基準試料の絶対座標を入力するとともに、共通メモリ(3A)から他の試料の相対座標を入力して、各被試験試料の絶対座標を演算し、表示ソフトウェア(4B)は、各試料の絶対座標ごとに試験結果を表示することを特徴とするIC試験装置のデータ表示制御方法。
IPC (2件)：
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