特許

J-GLOBAL ID：200903052275556799

コンデンサ用金属化フィルムのマージン部幅および金属蒸着膜厚さ測定方法

発明者： 本間 忠一 ,  田中 章順 ,  琢磨 幹雄
出願人/特許権者： 本州製紙株式会社 ,  株式会社ヒューテック
代理人 (1件)： 小山田 光夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-165827
公開番号（公開出願番号）：特開平8-304032
出願日： 1994年06月27日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：

【要約】【目的】 基材フィルムの流れの方向に対して連続して送られる金属蒸着面(蒸着部)と非蒸着面(マージン部)とを交互に形成してなる金属蒸着フィルムを対象とし、その蒸着工程中でマージン部幅および蒸着金属膜の膜厚を正確に測定するコンデンサ用金属化フィルムのマージン部幅および金属蒸着膜厚さ測定方法を提供する。【構成】 金属蒸着面(蒸着部)と非蒸着面(マージン部)とを交互に形成してなるコンデンサ用金属化フィルムをCCDカメラを利用して光学式光透過法でマージン部幅および蒸着部の金属蒸着膜の膜厚を測定する測定方法において、金属化フィルムのマージン部からのブルーミングの影響を除去するため、マージン部に減光フイルタからなるマスク板を設置し、照明装置からの照射光を金属化フィルムの幅方向に照射させ、照射され金属化フィルムの透過光を反対側に設置したCCDカメラで受光して電気信号に変換し、該電気信号を処理してマージン部幅および金属蒸着膜の厚さを同時に精度よく検出するようにした。

請求項（抜粋）：

金属蒸着面(蒸着部)と非蒸着面(マージン部)とを交互に形成してなるコンデンサ用金属化フィルムをCCDカメラを利用して光学式光透過法でマージン部幅および蒸着部の金属蒸着膜の膜厚を測定する測定方法において、金属化フィルムのマージン部からのブルーミングの影響を除去するため、マージン部に減光フイルタからなるマスク板を設置し、照明装置からの照射光を金属化フィルムの幅方向に照射させ、照射され金属化フィルムの透過光を反対側に設置したCCDカメラで受光して電気信号に変換し、該電気信号を処理してマージン部幅および金属蒸着膜の厚さを同時に精度よく検出するようにしたことを特徴とするコンデンサ用金属化フィルムのマージン部幅および金属蒸着膜厚さ測定方法。

IPC (3件)：

G01B 11/06 ,  H01G 4/18 ,  H04N 7/18

FI (3件)：

G01B 11/06 H ,  H04N 7/18 A ,  H01G 4/24 331 Z