特許
J-GLOBAL ID：200903052275879164
電着めっき装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-208419
公開番号（公開出願番号）：特開平7-041996
出願日： 1993年07月31日
公開日（公表日）： 1995年02月10日
要約：
【要約】【目的】 被めっき体である薄膜ウェハーに、めっき膜厚及びめっき膜質がその表面上で均一となるように電着めっきを施す。【構成】 電着めっき装置を、めっき槽1と、このめっき槽1中のめっき浴に侵漬されて配置された陽極部2,陰極部3,及びめっき液を攪拌するための攪拌手段4と、めっき槽1の外部に設けられた電源5及び磁界発生手段6とから構成する。そして、陰極部3を、被めっき体である薄膜ウェハー3a及び補助陰極板3bにより構成する。この補助陰極板3bを、円輪形状を有し、その外径は薄膜ウェハー3aの外径より大きいリング形状として形成し、その内径を薄膜ウェハー3aの直径よりも小さく形成する。この補助陰極板3bの内周端には、複数本のツメ形状の突起7を、上記内周端全体に亘って等間隔に形成する。
請求項（抜粋）：
めっき槽と、該めっき槽中のめっき浴内に陰極部、陽極部、及び攪拌手段が浸漬され、上記陰極部と上記陽極部との電着反応によって、上記陰極部の被めっき体にめっき層を形成する電着めっき装置において、上記陰極部は、上記被めっき体である薄膜ウェハー及び補助陰極板より成り、該補助陰極板は、その外径が上記薄膜ウェハーの直径より大きいリング形状を有し、内周端に上記薄膜ウェハーと接触する複数本のツメ形状の突起を有することを特徴とする電着めっき装置。
IPC (6件)：
C25D 17/06
, C25D 17/08
, C25D 17/10
, G11B 5/127
, G11B 5/31
, H01F 41/26
