特許
J-GLOBAL ID:200903052290550012

回折格子パターン

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴江 武彦 (外5名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-057694
公開番号(公開出願番号):特開平9-230122
出願日: 1988年09月07日
公開日(公表日): 1997年09月05日
要約:
【要約】【課題】本発明は、観察位置によって変化する細紋パターンを表現できる回折格子パターンを提供することを目的とする。【解決手段】本発明の回折格子パターンは、回折格子からなる微小なドットが、回折格子の空間周波数、回折格子の方向、各ドットが配置されるピッチ、各ドットの並び方の少なくとも何れかが変化して、基板表面に複数配置されて表現される回折格子パターンにおいて、前記ピッチが0.1mm以下であることを特徴とする。
請求項(抜粋):
回折格子からなる微小なドットが、回折格子の空間周波数、回折格子の方向、各ドットが配置されるピッチ、各ドットの並び方の少なくとも何れかが変化して、基板表面に複数配置されて表現される回折格子パターンにおいて、前記ピッチが0.1mm以下であることを特徴とする回折格子パターン。
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開昭60-156004
  • 特開昭62-232616

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