恒温冷媒液循環装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：林宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-040086
公開番号（公開出願番号）：特開平10-220947
出願日： 1997年02月07日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：

【要約】【課題】タンク内の冷媒液の貯留量を少なくでき、かつ液漏れの恐れがない恒温冷媒液循環装置を提供する。【解決手段】恒温冷媒液循環装置31における冷媒液のタンク25に、該タンク内に、高温の冷媒液を冷却する熱交換器15、この冷媒液を加熱して恒温の冷媒液とするヒータ12、及びこの冷媒液を負荷2に供給するポンプ14を組み込むとともに、ヒータ12の直線状の加熱部12aの外周を取り巻く中空筒状のヒータカバー33を設けて、熱交換器の冷媒液の出口15bをヒータカバー内に連通させる。【効果】タンク内の冷媒液は、ヒータカバー内を上昇しながらヒータで加熱されるので、冷媒液の液面の高さが低くてもヒータが過熱されない。

請求項（抜粋）：

冷媒液のタンクと、高温の冷媒液を冷却する熱交換器と、該熱交換器で冷却した冷媒液を加熱するヒータと、冷媒液を負荷に供給して循環させるポンプと、負荷に供給する冷媒液の温度を検出して信号を出力する温度センサと、該温度センサが検出した温度と所定の設定温度との対比により上記ヒータの通電量を制御して負荷に供給する冷媒液を所定の設定温度とする温度コントローラとを有する恒温冷媒液循環装置において、上記タンク内に、上記熱交換器、ヒータ及びポンプを組み込むとともに、上記ヒータの加熱部の外周を取り巻くヒータカバーを設け、熱交換器で冷却した冷媒液を上記ヒータカバー内を通して負荷に供給する、ことを特徴とする恒温冷媒液循環装置。

IPC (3件)：

F25D 13/00 , F25D 17/02 304 , H01L 23/427

FI (3件)：

F25D 13/00 B , F25D 17/02 304 , H01L 23/46 A

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