特許

J-GLOBAL ID：200903052292659313

エッチング性に優れた金属素材

発明者： 稲葉 道彦 ,  東中川 恵美子 ,  盛 二美男 ,  藤森 良経 ,  大竹 康久 ,  大森 廣文
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 則近 憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-200976
公開番号（公開出願番号）：特開平6-041767
出願日： 1992年07月28日
公開日（公表日）： 1994年02月15日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、精度良く高速でエッチングできる金属素材を得ることを目的とする。【構成】 本発明の金属素材は、少なくとも一部に鋳造組織を有し、転位密度が102 dl/cm2 以上であることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

金属素材の少なくとも一部に鋳造組織を有し、転位密度が102 dl/cm2 以上であることを特徴とするエッチング性に優れた金属素材。

IPC (2件)：

C23F 1/00 ,  H01L 23/50

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-204333
  
• 特開平2-077566
  
• 特公昭48-008707