特許
J-GLOBAL ID：200903052294131642
放電励起型COガスレーザ及びその制御方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-077675
公開番号（公開出願番号）：特開平7-283464
出願日： 1994年04月15日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：
【要約】【目的】 放電励起型COガスレーザ及びその制御方法に係るもので、レーザガスにXeやHgを添加することなく、レーザガスを低温化する労力及び設備を省略し、高効率、高出力のCOガスレーザを室温程度の温度雰囲気で確実に発生させる。【構成】 COガスを含有するレーザガスを挿通させ、レーザガスの放電によりレーザ光を発生させる高周波給電手段及び放電用電極とを有する放電励起型COガスレーザにおいて、放電部の出口のガス温度検出手段と、ガス温度検出手段の検出温度と高周波給電手段の出力とに基づきレーザガス流路の風速を設定する送風機とを具備する。
請求項（抜粋）：
COガスを含有するレーザガスを挿通させるレーザガス流路(1)と、該レーザガス流路中のレーザガスの放電によりレーザ光を発生させる高周波給電手段(4)及び放電用電極(3A,3B)とを有する放電励起型COガスレーザであって、放電部(2)の出口ガス温度を検出するガス温度検出手段(9)と、該ガス温度検出手段の検出温度と高周波給電手段の出力とに基づきレーザガス流路の風速を設定する送風機(7)とを具備することを特徴とする放電励起型COガスレーザ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01S 3/04 G
, H01S 3/097 B
