特許
J-GLOBAL ID：200903052298795804
超硬基材上の硬質カ-ボン膜
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-197112
公開番号（公開出願番号）：特開平8-060365
出願日： 1994年08月23日
公開日（公表日）： 1996年03月05日
要約：
【要約】【目的】 超硬基材上に、密着性、耐スクラッチ性が良い硬質カ-ボン膜を提案すること。【構成】 超硬基材上に硬質カ-ボン膜を形成する際、中間層を設け、超硬基材上に第1層として、チタンまたは、クロム膜をPVD法により形成し、第2層としてシリコン膜をPVD法により形成し、第3層に硬質カ-ボン膜をプラズマCVD法により形成する。【効果】 チタン、シリコンの単体元素を用いた中間層を設けることにより、超硬基材上の硬質カ-ボン膜の内部応力が緩和され、密着性、及び耐スクラッチ性に優れた硬質カ-ボン膜が得られ、さらに生産性も向上し、品質も安定した。
請求項（抜粋）：
タングステンカ-バイド、タンタルカ-バイド等の超硬材である基材上に、乾式メッキによるチタン、またはクロムの第1層と、該第1層の表面に、乾式メッキによるシリコン、またはゲルマニウムの第2層とよりなる中間層と、該中間層の表面に、乾式メッキによる硬質カ-ボン膜の第3層とよりなることを特徴とする超硬基材上の硬質カ-ボン膜。
IPC (2件)：
前のページに戻る
