特許
J-GLOBAL ID：200903052305873905
電子ビーム測長装置及び測長方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
龍華 明裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-125103
公開番号（公開出願番号）：特開2001-304840
出願日： 2000年04月26日
公開日（公表日）： 2001年10月31日
要約：
【要約】【課題】 高精度に測長対象の部分を測長することのできる電子ビーム測長装置及び測長方法を提供する。【解決手段】基準部分を有する基準パターンが形成された基準基板13と測長対象12とを載置可能なステージ14と、電子ビームを基準基板13上の基準部分を含む所定の位置において走査させ、2次電子の変化状況に基づいて基準部分に電子ビームが照射されている時間を検出し、当該時間と基準部分の長さとに基づいて時間と長さとの対応関係を検出する校正制御部64と、電子ビームを測長対象12上において走査させ、2次電子の変化状況に基づいて測長対象12の部分に電子ビームが照射されている時間を検出し、対応関係に基づいて測長対象の部分の長さを検出する測長制御部58とを有するように構成する。
請求項（抜粋）：
電子ビームを用いて、測長対象における所定の部分を測長する電子ビーム測長装置であって、前記電子ビームを照射する電子銃と、前記電子ビームを偏向する偏向部と、前記電子ビームに起因して飛散する電子を検出する検出器と、基準となる長さの基準部分を有する基準基板を載置する基準基板保持部と、前記測長対象を載置可能な測長対象保持部と、前記偏向部により前記電子ビームを前記基準基板上の前記基準部分を含む所定の位置を走査させる校正走査制御部と、前記電子ビームを前記基準基板上において走査させることにより前記検出器から逐次検出される前記電子の変化状況に基づいて、前記基準部分に電子ビームが照射されている時間を検出し、当該時間と前記基準部分の長さとに基づいて、前記電子ビームの走査における時間と長さとの対応関係を検出する対応関係検出部と、前記偏向部により前記電子ビームを前記測長対象上において走査させる測長走査制御部と、前記電子ビームを前記測長対象上において走査させることにより前記検出器から逐次検出される前記電子の変化状況に基づいて、前記測長対象の前記部分に電子ビームが照射されている時間を検出し、前記対応関係検出部により検出された前記対応関係に基づいて、当該検出した時間に対応する長さを検出する測長部とを有することを特徴とする電子ビーム測長装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 15/00 B
, H01J 37/28 B
2F067AA21
, 2F067CC15
, 2F067FF11
, 2F067FF14
, 2F067GG04
, 2F067HH06
, 2F067HH13
, 2F067JJ05
, 2F067KK04
, 2F067KK07
, 2F067PP12
, 2F067QQ02
, 2F067RR12
, 2F067RR24
, 5C033UU05
, 5C033UU08
, 5C033UU10
