特許

J-GLOBAL ID：200903052310364784

荷電粒子線装置

発明者： 小倉一道 ,  末吉 孝
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-217587
公開番号（公開出願番号）：特開平7-073833
出願日： 1993年09月01日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：

【要約】【目的】 絶縁物試料を良好に観察・分析できる荷電粒子線装置を提供すること。【構成】 電子銃1からの1次電子線の電流I1 はファラデーカップ5に検出される。1次電子線電流I1 を表わす信号I1 は1次電子線電流保持部6に記憶される。試料よりの2次電子や反射電子は検出器7,8に検出される。各々の検出器で検出された信号は2次線電流演算器8に送られ2次線電流I2 が求められ、2次線電流I2 を表わす信号I2 は比較器10に送られる。比較器10は信号I1 からI2 を引く処理(I1 -I2 )を行なう。比較器10の出力信号(I1 -I2 )は比較器11に送られる。試料電流検出器12は試料電流Ia を測定し、試料電流Ia を表わす信号Ia を比較器11に送る。比較器11は信号(I1 -I2 )からIa を引く処理((I1 -I2 )-Ia )を行なう。加熱電源13は比較器11の出力が零になるようにヒータ14を制御する。

請求項（抜粋）：

試料に1次電子線を照射し、試料から放出される2次線を検出して試料の分析を行なう荷電粒子線装置において、前記試料に照射される1次電子線の電流量を検出する手段と、前記2次線の電流量を検出する手段と、前記試料を加熱する手段と、試料から放出される熱電子の電流量と前記2次線の電流量の和が前記1次電子線の電流量になるように前記加熱手段を制御する手段とを備えた荷電粒子線装置。

IPC (3件)：

H01J 37/04 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/244