特許
J-GLOBAL ID：200903052316782391
回転処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萩原 康司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-067729
公開番号（公開出願番号）：特開平11-251284
出願日： 1998年03月03日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：
【要約】【課題】 基板の表面及び裏面を処理できる共に回転テーブルの加速及び減速を速やかに行い,かつ,解除手段の動作不良の心配のない回転処理装置を提供する。【解決手段】 ウェハWを,回転テーブル21の三箇所に配置された保持手段30により保持し,回転テーブル21の共に回転させるように構成した回転処理装置6において,保持機構30を回転テーブル21に軸支し,保持機構30に保持部40を形成し,保持機構30の保持部40をウェハWの周縁部に当接させるように保持機構30の揺動を付勢するねじりコイルばね35を設け,保持機構30に押圧部42を形成し,容器20に突起部45を設け,容器20に回転テーブル21を回動させ押圧部42と突起部45を接触させることにより,押圧部45を突起部45によって押圧し,保持部32をウェハWの周縁部から離すように構成したこと。
請求項（抜粋）：
容器内に回転自在に設けられた回転テーブルの少なくとも三箇所以上に保持機構を配置し,これら保持機構により基板を保持して,基板を回転テーブルの回転に伴って回転させるように構成した回転処理装置において,前記保持機構を回転テーブルに軸支し,前記保持機構に基板の周縁部に当接する保持部を形成し,前記保持部を基板の周縁部に当接させるように前記保持機構の回動を付勢する付勢手段を設け,前記保持機構を前記付勢手段の付勢と逆向きの方向に回動させるように押圧される押圧部を前記保持機構に形成し,前記容器に前記保持部の当接を解除する解除手段を設け,前記容器と前記回転テーブルとを相対的に回動させ前記押圧部と前記解除手段を接触させることにより,前記押圧部を前記解除手段によって押圧し,前記保持部を基板の周縁部から離すように構成したことを特徴とする,回転処理装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 651
, H01L 21/304 643
H01L 21/304 651 B
, H01L 21/304 643 A
