特許
J-GLOBAL ID：200903052323199294
樹脂材表面上の多層膜およびその成膜方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大川 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-248440
公開番号（公開出願番号）：特開2000-080463
出願日： 1998年09月02日
公開日（公表日）： 2000年03月21日
要約：
【要約】【課題】樹脂材表面上に、密着力が極めて高い多層膜を形成する。【解決手段】 樹脂製の基体11の表面上に、炭化物形成元素とその炭化物とが混合され基体から離れるに従ってその炭化物の含有量が少なくなる傾斜組成の混合層12を形成し、その混合層12の表面上に最上層13を形成する。基体11と第1混合層12との界面での組成の差異が極めて小さいため、基体11と多層膜10との密着力が極めて高いものが得られる。
請求項（抜粋）：
樹脂製の基体の表面上に形成され、主として炭化物形成元素とその炭化物とが混合してなる第1混合層と、該第1混合層の表面上に形成された最上層とから構成される樹脂材表面上の多層膜において、前記第1混合層は、該基体から離れるに従って前記炭化物の含有量が少なくなる傾斜組成を有することを特徴とする樹脂材表面上の多層膜。
IPC (3件)：
C23C 14/06
, C23C 28/00
, B32B 9/00
C23C 14/06 B
, C23C 28/00 D
, B32B 9/00 A
