特許

J-GLOBAL ID：200903052323361393

自動洗浄機の薬液秤量装置

発明者： 小溝 俊爾
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-211196
公開番号（公開出願番号）：特開平9-038589
出願日： 1995年07月26日
公開日（公表日）： 1997年02月10日
要約：

【要約】【課題】 正確な量の薬液を補充でき、また、部品の劣化等がなく維持費を低減できるようにした自動洗浄機の薬液秤量装置を提供する。【解決手段】 複数種類の各薬液をそれぞれの秤量槽2により秤量し、この各薬液を混合して物質の洗浄に使用する自動洗浄機の薬液秤量装置において、各秤量槽2に、所定量の薬液が貯えられたときオーバーフローするように構成された薬液補充用計量容器6と、薬液補充用計量容器6の上部および下部に各々接続された供給バルブ4および補充液投入バルブ7とを備え、供給バルブ4から供給された薬液は薬液補充用計量容器6に溜まり、余った薬液はオーバーフローし、薬液補充用計量容器6内の薬液が補充液投入バルブ7より処理槽1に投入されるように構成する。

請求項（抜粋）：

複数種類の各薬液をそれぞれの秤量槽により秤量し、この各薬液を混合して物質の洗浄に使用する自動洗浄機の薬液秤量装置であって、前記各秤量槽に、所定量の薬液が貯えられたときオーバーフローするように構成された薬液補充用計量容器と、前記薬液補充用計量容器の上部および下部に各々接続された供給バルブおよび補充液投入バルブと、前記薬液補充用計量容器に貯えられた薬液が補充定量レベルに達したことおよび薬液が補充空レベルに達したことを検知し、前記供給バルブおよび補充液投入バルブを開閉させる信号を出力するレベルセンサと、を設けたことを特徴とする自動洗浄機の薬液秤量装置。

IPC (3件)：

B08B 3/00 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304

FI (3件)：

B08B 3/00 ,  H01L 21/304 341 Z ,  H01L 21/304 341 S