特許

J-GLOBAL ID：200903052328100660

黒色Al2 O3 膜およびその製造方法

発明者： 大村 敏夫 ,  岡部 信一
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-296618
公開番号（公開出願番号）：特開平6-122961
出願日： 1992年10月09日
公開日（公表日）： 1994年05月06日
要約：

【要約】【目的】 耐熱性を有し色調変化や剥離を起こさないAl2 O3 黒色被膜及びその製造方法を提供する。【構成】 波長248nmの光の反射率が5%以下の黒色Al2 O3 であり、酸素中でアルミニウムを加熱蒸発させ酸素雰囲気の圧力を3×10-5〜7×10-5Torrとし、Al2 O3 膜の成膜速度が2.5〜10μm/Hr.で行う膜の製造方法である。

請求項（抜粋）：

波長248nmの光での反射率が5%以下であることを特徴とする黒色Al2 O3 膜。