特許

J-GLOBAL ID：200903052328324453

ネガ型感放射線性樹脂組成物

発明者： 梶田 徹 ,  小林 英一 ,  大田 利幸 ,  辻 昭
出願人/特許権者： 日本合成ゴム株式会社
代理人 (1件)： 福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-307836
公開番号（公開出願番号）：特開平6-138651
出願日： 1992年10月23日
公開日（公表日）： 1994年05月20日
要約：

【要約】【目的】 基板との密着性に優れ、かつ露光から露光後焼成あるいは現像までの時間の長短に係わらず、常に安定したレジスト性能を示すネガ型感放射線性樹脂組成物を提供する。【構成】 ネガ型感放射線性樹脂組成物は、(イ)アルカリ可溶性樹脂、および(ロ)放射線の照射により遊離しうる置換基を有する、下記構造式で代表される芳香族架橋剤を含有する。【化1】

請求項（抜粋）：

(イ)アルカリ可溶性樹脂、および(ロ)放射線の照射により遊離しうる置換基を有する、下記構造式(1)で表される芳香族架橋剤を含有することを特徴とするネガ型感放射線性樹脂組成物。【化1】(式中、Lは放射線の照射により遊離しうる置換基を示し、Ar はn価の芳香族炭化水素基を示し、R1は水素原子、炭素数4以下のアルキル基、炭素数6以下のアルコキシアルキル基または炭素数6以下のトリアルキルシリル基を示し、R2およびR3は相互に独立して、水素原子または炭素数4以下のアルキル基を示し、R4は水素原子、ハロゲン原子、炭素数4以下のアルキル基、炭素数4以下のアルコキシ基、炭素数10以下のアリール基または炭素数10以下のアラルキル基を示し、n、x、yおよびzは、n=x+y+z、x≧1、y≧1、z≧0の関係を満たす整数である。但し、x≧2、y≧2あるいはz≧2のとき、それぞれ複数存在するR1、R2、R3あるいはR4は、同一でも異なってもよい。)

IPC (3件)：

G03F 7/004 503 ,  G03F 7/038 505 ,  H01L 21/027