特許
J-GLOBAL ID：200903052335145238
ダイヤモンド様炭素(DLC)又は他の真空蒸着被膜を基体に被覆する装置及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
石田 敬 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-179921
公開番号（公開出願番号）：特開2000-064047
出願日： 1999年06月25日
公開日（公表日）： 2000年02月29日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】ダイヤモンド様炭素を基体上に被覆する装置及び方法を提供する。【解決手段】基体をダイヤモンド様被膜又は真空蒸着可能な材料で被覆する装置が、陽極を有し、又は陽極として作用する室11、この室内に基体15を支持する手段、この室内に炭化水素ベースの気体を含む低圧雰囲気を確立するための手段、及びこの室内に気体プラズマを確立するための無線周波源12を有し、前記基体15は陰極として作用する。
請求項（抜粋）：
基体を真空蒸着可能な材料で被覆する装置であって、陽極を有する室、この室内に基体を支持する手段、この室内に低圧気体雰囲気を確立するための手段、及びこの室内に気体プラズマを確立するための無線周波源を有し、前記基体が陰極として作用するようにした装置。
IPC (5件)：
C23C 16/26
, C23C 14/06
, C30B 23/08
, C30B 29/04
, C30B 30/02
C23C 16/26 Z
, C23C 14/06 F
, C30B 23/08 P
, C30B 29/04 D
, C30B 30/02
