ワークホルダー

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田中宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-227855
公開番号（公開出願番号）：特開2000-052242
出願日： 1998年08月12日
公開日（公表日）： 2000年02月22日
要約：

【要約】【目的】本発明は、例えばフォトマスク等、極めて高い平坦度や平行度が要求される板状のガラスの表面を研削、研磨加工を施し、最終的に鏡面仕上げを行なうための平面研磨加工工程において使用するワークホルダーを提供する。【構成】板状の被加工体を吸着固定して加工を行なう片面加工機のワークホルダーであって、該ワークホルダーを構成するリテーナが、その内周縁部に凹状の溝部を備えたワークホルダーを提供する。前述の凹状の溝部は、被加工体の非加工面のエッジ部が当接する部位を含んでおりかつリテーナの内周縁部全周に亘って形成されており、またその幅は凹状溝の頂部よりリテーナの底面までの距離の50%以下であることが好ましい

請求項（抜粋）：

板状の被加工体を吸着固定して加工を行なう片面加工機のワークホルダーであって、該ワークホルダーを構成するリテーナが、その内周縁部に凹状の溝部を備えたものであることを特徴とするワークホルダー。

IPC (2件)：

B24B 37/04 , H01L 21/304 622

FI (2件)：

B24B 37/04 H , H01L 21/304 622 G

Fターム (4件)：

3C058AA07 , 3C058AB04 , 3C058CB02 , 3C058DA17

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