特許
J-GLOBAL ID:200903052348680515

圧力センサーの構造

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-185311
公開番号(公開出願番号):特開平10-073506
出願日: 1983年03月01日
公開日(公表日): 1998年03月17日
要約:
【要約】【課題】 耐久性を向上させ、高精度且つ高安定な測定が出来、しかも小型機器に適した実用性の高い圧力センサーを得ること。【解決手段】 気圧や水圧などの圧力を計測するために、半導体材料にて形成した圧力センサー体8であって、前記圧力センサー体8を遮光性の物質を含む弾性物質13にて覆った構成を有するものであり、前記弾性物質はヤング率が小さくポアッソン比の大きい弾性物質13を充填した圧力センサーである。
請求項(抜粋):
気圧や水圧などの圧力を計測するために、半導体材料にて形成した圧力センサーにおいて、前記圧力センサーを遮光性の物質を含む弾性物質にて覆ったことを特徴とする圧力センサーの構造。
IPC (3件):
G01L 9/04 101 ,  G04G 1/00 315 ,  G01C 13/00
FI (3件):
G01L 9/04 101 ,  G04G 1/00 315 E ,  G01C 13/00 P

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