特許

J-GLOBAL ID：200903052349850538

移動ステージのローリング角度測定方法及び装置

発明者： 加藤 嘉一
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-085104
公開番号（公開出願番号）：特開2000-275030
出願日： 1999年03月29日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 ローリング角度を、簡易構成で、小さい測定誤差で測定可能な、移動ステージのローリング角度測定方法及び装置を提供する。【解決手段】 平面20上を直線移動自在なステージ30の移動方向に沿って、レーザ光源11から位相が互いに1/2波長ずれた2つの前記レーザ光Li1,Li2を出射させ、ステージ上に固定されたミラー4a〜4gで2つのレーザ光をステージの移動方向の両側において直角下向きに反射させ、ステージの移動方向に沿って平行に配置された2つのコーナキューブプリズム1a,1bでレーザ光を逆向きに反射させ、ミラーで反射された2つのレーザ光Lr1,Lr2をそれぞれレーザ光源11へ向かって反射させ、合成光の受光光強度を測定し、受光光強度に対応してレーザ光Li1,Li2の光軸に対するステージのローリング角度θを求める。

請求項（抜粋）：

平面上を直線移動自在なステージに対向して、前記ステージの移動方向に沿って前記ステージへ向かってレーザ光を出射するレーザ光源を配置し、前記レーザ光源から位相が互いに1/2波長ずれた2つの前記レーザ光を出射させ、前記ステージ上に固定されたミラーで前記2つのレーザ光を前記ステージの前記移動方向の両側において直角下向きに反射させ、前記ステージの移動方向に沿って平行に配置された2つの反射体で前記レーザ光を逆向きに反射させ、前記ステージ上に固定された前記ミラーで前記反射された2つのレーザ光をそれぞれ前記レーザ光源へ向かって反射させ、前記反射された2つのレーザ光の合成光の受光光強度を測定し、前記受光光強度に対応して前記レーザ光の光軸に対する前記ステージのローリング角度を求めることを特徴とする移動ステージのローリング角度測定方法。

IPC (3件)：

G01B 11/26 ,  G12B 5/00 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G01B 11/26 Z ,  G12B 5/00 T ,  H01L 21/30 503 A ,  H01L 21/30 516 B

Fターム (26件)：

2F065AA31 ,  2F065AA37 ,  2F065BB01 ,  2F065DD02 ,  2F065FF52 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ15 ,  2F065LL12 ,  2F065LL17 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065PP23 ,  2F078CA02 ,  2F078CA08 ,  2F078CB05 ,  2F078CC02 ,  5F046BA03 ,  5F046CA04 ,  5F046CC01 ,  5F046CC03 ,  5F046CC16 ,  5F046DB05 ,  5F046DC12 ,  5F046DC14