特許
J-GLOBAL ID：200903052358197464
電位分布測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
蛭川 昌信 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-162665
公開番号（公開出願番号）：特開平6-003397
出願日： 1992年06月22日
公開日（公表日）： 1994年01月11日
要約：
【要約】【目的】 微小部分の電位測定を可能にする。【構成】 電位検出用プローブを用い、電位分布を有する記録媒体に接近させたとき作用する静電気力によるプローブの機械的変位、固有振動数の変化、或いは振幅の変化を利用し、また、静電気力による作用によってプローブの状態が変化しないようにプローブ-記録媒体間の距離、プローブ-記録媒体間のバイアス電圧を制御したときの制御量から、記録媒体上の電位分布を測定する。
請求項（抜粋）：
電位検出用プローブを用いて記録媒体上の電位分布を測定する装置において、電位検出用プローブと記録媒体との相対的位置関係を3次元的に変える移動手段と、プローブと記録媒体間に働く静電気力の作用を検知する検知手段とを備え、前記移動手段により静電気力による相互作用が生じる距離までプローブと記録媒体とを接近させ、記録媒体あるいはプローブを2次元的に走査してプローブに働く静電気力の作用を検知することを特徴とする電位分布測定装置。
IPC (2件)：
G01R 29/12
, G03G 5/00 101
