特許
J-GLOBAL ID：200903052362207695
微粒子散布方法及び微粒子散布装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-308549
公開番号（公開出願番号）：特開平7-136556
出願日： 1993年11月16日
公開日（公表日）： 1995年05月30日
要約：
【要約】【目的】 爆発を起こさずに、安価に均等に散布対象物の表面に散布微粒子を散布することである。【構成】 散布微粒子と不燃性の分散粒子との混合体粒子7を散布対象物である基板14に散布し、散布された混合粒子7から気化物質を気化させて基板14上に散布微粒子を均等に配設する。
請求項（抜粋）：
散布微粒子と昇華性物質又は揮発性固形物質からなる分散粒子とを混合した混合粒子を散布対象物の表面に散布する工程と、前記散布対象物の表面の前記分散粒子を気化させる工程とを備えることを特徴とする微粒子散布方法。
IPC (4件)：
B05B 7/00
, B05D 7/24 301
, B41M 5/38
, G02F 1/1339 500
