特許

J-GLOBAL ID：200903052364707970

CMP用パッドコンディショナーおよびその製造方法

発明者： 門村 和徳 ,  福西 利夫
出願人/特許権者： 大阪ダイヤモンド工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-059180
公開番号（公開出願番号）：特開2000-218512
出願日： 1999年01月28日
公開日（公表日）： 2000年08月08日
要約：

【要約】【課題】CMP用パッドコンディショナーにおいて、目つぶれ及び目づまりによる切れ味低下のない、高性能で高能率なCMP用パッドコンディショナーを提供する。【解決手段】CMP用パッドコンディショナーのダイヤモンド砥粒の露出部に溝を形成することにより、切れ味を向上させ、高精度で高能率なドレッシングを可能にする。

請求項（抜粋）：

金属製台金の表面に平均粒径が30μm〜1000μmのダイヤモンド砥粒がニッケルめっき又はロウ材を主成分とする結合材により単層固着されたCMP用パッドコンディショナーであって、ダイヤモンド砥粒の露出部に溝が形成されていることを特徴とするCMP用パッドコンディショナー。

IPC (3件)：

B24B 37/00 ,  B24B 53/12 ,  H01L 21/304 622

FI (3件)：

B24B 37/00 A ,  B24B 53/12 A ,  H01L 21/304 622 M

Fターム (10件)：

3C047EE09 ,  3C047EE18 ,  3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AA19 ,  3C058CB01 ,  3C058CB03 ,  3C058CB10 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17