特許

J-GLOBAL ID：200903052371624762

蒸着方法、蒸着ヘッド、及び有機エレクトロルミネッセンス表示パネルの製造装置

発明者： 平野 静雄
出願人/特許権者： パイオニア株式会社
代理人 (1件)： 藤村 元彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-169426
公開番号（公開出願番号）：特開2005-002450
出願日： 2003年06月13日
公開日（公表日）： 2005年01月06日
要約：

【課題】製造コストを低減できる蒸着方法、蒸着ヘッド、及びこれを用いた有機エレクトロルミネッセンス表示パネルの製造装置を提供する。【解決手段】蒸着方法は、気化した蒸着材料をノズルに供給し、温度低下によりノズルに保持せしめ、蒸着材料をノズルの加熱により気化して、ノズルの開口に対向配置した基板に蒸着材料の薄膜を形成する。蒸着方法は、蒸着材料を保持しかつ気化した蒸着材料を吐出する開口を有するノズルと、ノズルを加熱及び冷却する温度調節器と、ノズルに連通し気化した蒸着材料をノズルに供給する供給器と、を有する。【選択図】 図8

請求項（抜粋）：

気化した蒸着材料をノズルに供給し、温度低下により前記ノズルに保持された前記蒸着材料を前記ノズルを加熱して気化せしめ、前記ノズルの開口に対向配置した基板に前記蒸着材料の薄膜を形成することを特徴とする蒸着方法。

IPC (4件)：

C23C14/24 ,  C23C14/12 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14

FI (5件)：

C23C14/24 A ,  C23C14/24 B ,  C23C14/12 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A

Fターム (10件)：

3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029BA62 ,  4K029BD00 ,  4K029DB12 ,  4K029DB14 ,  4K029DB15 ,  4K029DB20 ,  4K029DB24