耐熱耐酸化性炭素膜及びその形成方法並びに耐熱耐酸化性炭素膜被覆物品及びその製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：谷川昌夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-109997
公開番号（公開出願番号）：特開2008-266704
出願日： 2007年04月19日
公開日（公表日）： 2008年11月06日
要約：

【課題】耐熱性に優れるとともに、耐酸化性に優れた耐熱耐酸化性炭素膜及びその形成方並びに耐熱耐酸化性炭素膜被覆物品及びその製造方法を提供する。【解決手段】(1) 炭素を主成分とし、シリコンを含有しており、表面層として酸化シリコン含有層を有する耐熱耐酸化性炭素膜F、(2) 該膜で被覆された耐熱耐酸化性炭素膜被覆物品W、(3) シリコン含有炭素膜f1を形成する工程と、該工程で形成された炭素膜f1の表面を酸化処理して、酸化シリコン含有層f2を形成する工程とを含む耐熱耐酸化性炭素膜Fの形成方法及び(4) 耐熱耐酸化性炭素膜被覆対象物品を準備し、該物品の表面の少なくとも一部に(3) の方法により耐熱耐酸化性炭素膜Fを形成して耐熱耐酸化性炭素膜被覆物品Wを得る物品製造方法。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

炭素を主成分とし、シリコンを含有しており、表面層として酸化シリコン含有層を有していることを特徴とする耐熱耐酸化性炭素膜。

IPC (2件)：

C23C 16/26 , C23C 14/06

FI (2件)：

C23C16/26 , C23C14/06 F

Fターム (35件)：

4K029BA34 , 4K029BA43 , 4K029BA46 , 4K029BA55 , 4K029BA58 , 4K029BB02 , 4K029BB10 , 4K029BC01 , 4K029BD05 , 4K029CA03 , 4K029CA05 , 4K029GA02 , 4K030AA03 , 4K030AA06 , 4K030AA09 , 4K030AA10 , 4K030AA11 , 4K030AA17 , 4K030BA27 , 4K030BA28 , 4K030BA36 , 4K030BA38 , 4K030BA42 , 4K030BA44 , 4K030BB12 , 4K030CA02 , 4K030CA05 , 4K030CA07 , 4K030DA08 , 4K030DA09 , 4K030FA03 , 4K030HA03 , 4K030JA01 , 4K030JA06 , 4K030LA22

前のページに戻る