特許

J-GLOBAL ID：200903052377779318

XYθテーブル

発明者： 田上 義明
出願人/特許権者： マイクロ・テック株式会社
代理人 (1件)： 溝井 章司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-330056
公開番号（公開出願番号）：特開平7-156031
出願日： 1993年12月01日
公開日（公表日）： 1995年06月20日
要約：

【要約】【目的】 コンパクトで高さの小さいXYθテーブルを得る。【構成】 モータMX,MY,MθをXYθテーブルの同一側に配置する。バネ鋼5aを用いることによりボールネジ4aのX方向の移動をプレートPYのY方向への移動に変換する。また、バネ鋼5bを用いてボールネジ4bのX方向の移動をプレートPθのθ方向への移動に変換する。【効果】 モータが一列に配置でき装置に凹凸がなくなる。また、バネ鋼5a,5bを介してX方向の移動をY方向およびθ方向への移動に変換しているためバックラッシュが存在せず正確に位置決めできる。

請求項（抜粋）：

基台に対してX方向とY方向とθ方向に位置決め可能なXYθテーブルにおいて、X方向に移動可能なプレートと、そのプレートをX方向に移動する駆動力を発生する第1のモータと、Y方向に移動可能なプレートと、そのプレートをY方向に移動する駆動力を発生する第2のモータと、θ方向に移動可能なプレートと、そのプレートをθ方向に移動する駆動力を発生する第3のモータとを備え、上記第1と第2と第3のモータをXYθテーブルの同一側面に配置したことを特徴とするXYθテーブル。

IPC (5件)：

B23Q 1/48 ,  B23Q 5/34 520 ,  B23Q 5/38 ,  B23Q 5/40 ,  B23Q 5/56

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 平面運動機構
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-256037   出願人：株式会社ニコテック, 株式会社ユニーデータ
• 特公昭47-046952