特許

J-GLOBAL ID：200903052382785318

インクジェット記録ヘッド用基板、インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置

発明者： 尾▲崎▼ 照夫 ,  森 利浩
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-334934
公開番号（公開出願番号）：特開平9-174841
出願日： 1995年12月22日
公開日（公表日）： 1997年07月08日
要約：

【要約】【課題】 発熱抵抗体の上層の保護膜が薄く、消費電力の少ない、信頼性の高いインクジェット記録ヘッド用基板を得て、その基板を用いて優れたインクジェット記録用ヘッドおよびインクジェット記録装置を得る。【解決手段】 基板上に絶縁膜、配線パターン、絶縁膜、発熱抵抗体の順に積層され、上層の絶縁膜に設けられたスルーホール介して発熱抵抗体と配線パターンと接続し、さらにそれらの上に保護膜が全面に形成されているインクジェット記録ヘッド用基板を用いてインクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置を作製する。

請求項（抜粋）：

基板上に複数の発熱抵抗体、該発熱抵抗体と電気的に接続する配線パターンが形成され、該発熱抵抗体と該配線パターンの上にそれらをインクから保護するための保護膜が形成されているインクジェット記録ヘッド用基板において、基板上に絶縁膜が形成され、該絶縁膜上に配線パターンが形成され、該発熱抵抗体上に絶縁膜が形成され、前記配線パターンがスルーホールを介して前記発熱抵抗体と接続していることを特徴とするインクジェット記録ヘッド用基板。