特許

J-GLOBAL ID：200903052388566456

露光装置

発明者： 西田 敏夫 ,  小林 直樹 ,  斎藤 久夫
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 和泉 良彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-104208
公開番号（公開出願番号）：特開2002-303988
出願日： 2001年04月03日
公開日（公表日）： 2002年10月18日
要約：

【要約】【課題】均一な照度の紫外線を用いて大面積の面の露光を行なうことができる露光装置を提供する。【解決手段】発光ピーク波長が200nm〜450nmの窒化物半導体発光ダイオード1を複数個配列して構成した励起光源を備える。

請求項（抜粋）：

発光ピーク波長が200nm〜450nmの窒化物半導体発光ダイオードを複数個配列して構成した励起光源を備えたことを特徴とする露光装置。

IPC (4件)：

G03F 7/20 501 ,  H01L 21/027 ,  H01L 33/00 ,  H01S 5/323 610

FI (4件)：

G03F 7/20 501 ,  H01L 33/00 C ,  H01S 5/323 610 ,  H01L 21/30 509

Fターム (17件)：

2H097CA11 ,  2H097CA12 ,  2H097CA14 ,  5F041AA05 ,  5F041CA34 ,  5F041CA40 ,  5F041DA82 ,  5F041DC83 ,  5F041FF16 ,  5F046BA01 ,  5F046CA03 ,  5F046CB22 ,  5F073AA72 ,  5F073BA09 ,  5F073CA07 ,  5F073EA24 ,  5F073FA30