特許

J-GLOBAL ID：200903052388726640

反射光強度補正方法

発明者： 守屋 進 ,  牧野 義和 ,  武智 真一
出願人/特許権者： 川崎製鉄株式会社
代理人 (1件)： 小杉 佳男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-165973
公開番号（公開出願番号）：特開平6-003135
出願日： 1992年06月24日
公開日（公表日）： 1994年01月11日
要約：

【要約】【目的】物体表面で反射された反射光強度あるいは反射光強度分布の測定値に基づいて、例えば表面の特性を測定する際に、この測定値を高い精度で補正する方法を提供する。【構成】測定対象物の表面に光源から光を照射してその反射光強度を測定する際に、(1)光源の第1の光強度の、光源の第2の光強度に対する比の値の対数Xと、第1の光強度の光を測定対象物の表面に照射して得られた反射光強度の、第2の光強度の光を測定対象物の表面に照射して得られた反射光強度に対する比の値の対数Yとの比の値q=X/Yを求め、(2)下記の式に基づいて、反射光強度を補正する。Ic =Im ×(P0 /Pm )qここで、Ic :補正後の反射光強度Im :測定された反射光強度(実測値)P0 :初期状態の光源光強度Pm :測定中の光源光強度

請求項（抜粋）：

測定対象物の表面に光源から光を照射してその反射光強度を測定する際に、(1)光源の第1の光強度の、光源の第2の光強度に対する比の値の対数Xと、前記第1の光強度の光を前記表面に照射して得られた反射光強度の、前記第2の光強度の光を前記表面に照射して得られた反射光強度に対する比の値の対数Yとの比の値X/Y=qを求め、(2)下記の式に基づいて、反射光強度を補正することを特徴とする反射光強度補正方法。Ic =Im ×(P0 /Pm )qここで、Ic :補正後の反射光強度Im :測定された反射光強度(実測値)P0 :初期状態の光源光強度Pm :測定中の光源光強度

IPC (2件)：

G01B 11/30 ,  G01N 21/57